旋片真空泵的概述
裝有旋片的偏置轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)作回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，使由旋片分隔的泵腔工作室容積周期性變化以實(shí)現(xiàn)抽氣的真空泵，又稱旋片真空泵。旋片真空泵的工作原理。旋片真空泵主要由泵體（靜子）和轉(zhuǎn)子組成。在轉(zhuǎn)子槽中裝有兩塊以上的旋片，有些泵旋片間還裝有彈簧。轉(zhuǎn)子偏心地裝在泵腔內(nèi)，其外緣與泵腔頂部表面的間隙為2～3微米。轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，在離心力等作用下,旋片沿槽作往復(fù)滑動(dòng)并與泵腔內(nèi)壁始終保持接觸,將泵腔分成兩個(gè)或幾個(gè)可變?nèi)莘e的工作室。轉(zhuǎn)子順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)時(shí),與吸氣口相通的吸氣腔容積由零逐漸增大,腔內(nèi)氣體壓力降低，被抽氣體便從吸氣口源源不斷地吸入。同時(shí),與排氣口相通的排氣腔容積由大變小，吸入腔內(nèi)的氣體被壓縮，待氣體壓力高于大氣壓力時(shí)，推開排氣閥排出大氣。轉(zhuǎn)子連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng),泵便不斷抽氣。
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